使用表面反应功能的CVD（气相沉积）分析案例
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使用Fluent的CVD（Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积）的案例。在此案例中，考虑到了气相化学形态、沉积化学形态、固体化学形态之间的详细反应。为了高效计算详细的化学反应速率方程，Fluent备有特殊求解器（刚性求解器），还可以连结专门处理化学反应的软体CHEMKIN-CFD。
分析结果
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流体分析 流体分析（表面反应） 流体分析（化学形态） |
CVD，化学气相成长，沉积，半导体制造装置 使用表面反应功能的CVD（气相沉积）分析案例 |
2021-02-05 16:19:02 2021-02-05 16:19:02 |
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