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RSoft CAD新的导入/导出GDS档案方法

撰写人:思渤科技应用工程师 许倬芸


设计诸如集成光路(PICs)以及光学绕射组件(DOEs)等光子组件时,通常会产生一个或多个GDS光罩档案。GDS档案中包含了设计的信息,例如:布局图层、形状以及文字卷标。本技巧介绍了RSoft CAD汇入/汇出GDS档案的多种方法。


1.通过层次结构动态汇入GDS
RSoft CAD是一种分层设计环境,在设计当中可结合本地设计组件、汇入其他组件以及GDS档案。本次重点介绍如何使用RSoft CAD中Circuit Reference功能(引用其他设计组件)进行GDS档案的动态使用。图1为Circuit Reference的属性接口,可以在External File读取GDS档案。默认值情况会将GDS所有图层信息都导入XZ平面。然而,可以使用语法”file:layer#”导入特定图层,如图1所示。或者可以使用语法”file:layer#,xy”将图层导入XY平面。每个Circuit Reference都能分别设定其材料、位置、厚度以及其他属性,此方法使设计复杂结构更加轻松容易。此外也能将GDS定义的结构与本地组件相互结合,达到完整的自定义结构模型。 


 


图2以垂直光栅耦合器展示导入两层图层的方式。使用到两个Circuit Reference组件,分别定义不同层的GDS档案。 


图2. 多层GDS档案汇入范例:垂直光栅耦合器


图3以Dammann光栅展示导入不同平面(XY,XZ)的功能。因为GDS导入是动态的,所以对GDS档案进行修改,RSoft布局也会随之改变。若有需要可以使用gds2ind指令功能,将GDS转换成RSoft.ind,防止输入的结构变动。


 


2.使用GDS导出选项
RSoft CAD支持GDS档案导出,在送出组件进行验证与制程前必须经过此步骤。所有组件皆可从XY, XZ与YZ平面或者指定的切割位置导出成GDS档案。

图4以Dammann光栅为例子,在ExportGDS对话窗口中定义导出平面为XY平面(File>Export>GDS。GDS空间信息默认值为仿真区域,能自行裁切。也支持使用指令ind2gds的方式将档案汇出成GDS。 


图4. 以Dammann光栅之XY平面导出成GDS


有关于RSoft CAD环境中导入/导出GDS的更多细节,请参阅「RSoft CAD User Guide」的6.E章节。



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